天準科技(688003)09月12日在投資者關系平臺上答復了投資者關心的問題。

投資者：公司的半導體檢測設備可用于華為手機星閃芯片的檢測嗎？

(相關資料圖)

天準科技董秘：您好，感謝對公司的關注。天準科技參股的蘇州矽行半導體覆蓋65-90nm節(jié)點的明場缺陷檢測設備正式交付客戶試用，28nm節(jié)點檢測設備正在研發(fā)中。

投資者：了解到公司孫公司MueTec是在半導體宏觀檢測領域、參股聯(lián)營的的蘇州矽行在半導體檢測微觀領域企業(yè)，查詢公司網(wǎng)站公司產(chǎn)品在半導體領域包含掩模測量，請問貴公司或子公司等在半導體光刻領域有何技術儲備和建樹？謝謝

天準科技董秘：您好，感謝對公司的關注。天準子公司MueTec專注于半導體前道晶圓量測設備，主要產(chǎn)品包括套刻誤差量測設備、掩模版量測檢測設備、半導體晶圓紅外量測檢測設備等；天準參股公司矽行半導體專注于半導體前道晶圓的微觀缺陷檢測設備，尚未涉足半導體其它設備。

投資者：公司的自動駕駛設備和軟件開發(fā)從理論上可以接入華為鴻蒙系統(tǒng)嗎？如果可以希望公司有這個備案！

天準科技董秘：您好，感謝對公司的關注。從理論上講，天準的域控制器可以接入華為的鴻蒙系統(tǒng)。

投資者：目前國家成立半導體大基金三期，基金參與的公司不僅能給公司帶來研發(fā)資金，也會給公司的技術帶來信譽背書，同時能帶來產(chǎn)業(yè)上的結合，希望徐總三思能與產(chǎn)業(yè)基金合作，這個時代合作才能共贏。

天準科技董秘：您好，感謝對公司的關注。也感謝您的建議。

投資者：公司提供給外國公司設備，成交金額是美元還是人民幣？

天準科技董秘：您好，感謝對公司的關注。公司在進口原材料、出口產(chǎn)品時主要使用美元結算。

投資者：公司之前提到過已有光刻對準檢驗機產(chǎn)品并中標過上海新微半導體采購項目，請問光刻對準檢驗機載半導體光刻各流程環(huán)節(jié)中起什么作用？國產(chǎn)替代前景如何？謝謝

天準科技董秘：您好，感謝對公司的關注。MueTec于2021年中標上海新微套刻誤差量測設備。套刻（Overlay）誤差量測設備主要用于量測半導體制造工藝中前后疊層之間對準的套刻誤差，MueTec的套刻（Overlay）誤差量測設備可覆蓋65-90nm工藝節(jié)點，目前公司蘇州團隊和MueTec團隊正在合作開發(fā)更先進制程的套刻誤差量測設備。

投資者：請問公司和華為有沒有研發(fā)、業(yè)務合作等。

天準科技董秘：您好，感謝對公司的關注。天準科技為國內(nèi)頭部手機品牌，提供視覺量測、檢測設備。

投資者：公司之前回復Muetec正在積極推進overlay產(chǎn)品的研發(fā)，overlay在芯片制造工藝中是非常重要的一環(huán)，可否介紹一下overlay在芯片制造中的作用以及您家設備在此領域的發(fā)展現(xiàn)狀？

天準科技董秘：您好，感謝對公司的關注。套刻（Overlay）誤差量測設備主要用于量測半導體制造工藝中前后疊層之間對準的套刻誤差，MueTec的套刻（Overlay）誤差量測設備可覆蓋65-90nm工藝節(jié)點，目前公司蘇州團隊和MueTec團隊正在合作開發(fā)更先進制程的套刻誤差量測設備。

投資者：目前涉及域控制器的公司挺多，請問公司的有什么優(yōu)勢？技術上有多大領先？

天準科技董秘：您好，感謝對公司的關注。在非車規(guī)域控制器領域，天準科技從2018年開始將機器視覺技術應用到了無人物流車領域，實現(xiàn)了低速無人車輛的自主駕駛，應用于無人化的貨物運輸、電商訂單配送等，當時主要客戶是菜鳥物流。在此基礎上，經(jīng)過幾年的深耕，圍繞著智能駕駛域控制器核心產(chǎn)品，形成了包括遠程駕駛、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)回灌、多傳感器聯(lián)合標定、車路協(xié)同等產(chǎn)品和方案在內(nèi)的一套完整的開發(fā)工具鏈，建立起了硬件設計、底軟和中間件開發(fā)、算法部署和優(yōu)化等全面的技術能力，聯(lián)合數(shù)十家主流傳感器、通訊、云平臺等領域的合作伙伴，服務了國內(nèi)外100余家主要的L4智能駕駛客戶，覆蓋了Robotaxi、Robobus、Robotruck、工程車輛、低速無人配送車、清掃車等各種智能駕駛應用場景。在車規(guī)級域控制器領域通過與地平線的合作，可以使已有業(yè)務進一步深化發(fā)展，天準科技是一家以機器視覺為核心技術的公司，在機器視覺的底層算法、行業(yè)應用方面有多年的積累，在地平線的平臺之上，能夠充分發(fā)揮天準在AI領域的技術價值。

投資者：公司的pcb設備可以用于5G，6G嗎？

天準科技董秘：您好，感謝對公司的關注。公司的LDI設備主要應用于PCB、FPC、IC載板等領域的線路層、防焊層等工藝段的制備，精度最高可達4-6微米。

投資者：公司有產(chǎn)品應用于光刻機產(chǎn)業(yè)鏈嗎？謝謝

天準科技董秘：您好，感謝對公司的關注。天準全資子公司Muetec專注于半導體前道晶圓量測設備，主要產(chǎn)品包括套刻誤差量測設備、掩模版量測檢測設備、半導體晶圓紅外量測檢測設備等；天準參股的蘇州矽行半導體專注于半導體前道晶圓檢測設備。

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